半導體制造設備用隔離式低濃度氧傳感器TB-II.F介紹

Ecoazette TB-II.F系列是使用穩定氧化鋯陶瓷作為檢測部件的O2傳感器。

TB-III F系列用于測量常溫氣體，測量范圍廣，使用范圍廣。

通過信號電纜與控制單元※連接使用。

產品特點

1. 清潔氣體中從 ppmO2 水平到 100%O2 的寬范圍

2. 氧化鋯傳感器層層保護，結構可抵抗HCL和SOX等腐蝕性氣體的侵蝕。

3.不易受樣品流速影響，可在0.2~5L/min的流速范圍內測量

4.結構簡單，易于維護

產品用途

1.半導體制造等惰性氣體管線

2.N2回流爐

3. N2PSA

4.氣氛爐

5. 船用IGS、IGG

6.蒸氣