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技術文章

實驗室表面處理利器!SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗機,高效溫和不損傷樣品

在半導體、材料研發、精密制造等實驗室場景中,樣品表面的有機污染物、殘留雜質,一直是影響實驗精度、產品良率的關鍵問題。傳統清洗方式不僅流程繁瑣,還容易損傷敏感基材,今天給大家推薦一款專業的表面處理設備 —— 日本 SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗機,用紫外光 + 臭氧 + 臺面加熱的三重作用,溫和高效去除有機污染物,適配多種基材,是實驗室表面處理的理想選擇。

一、核心原理:三重作用,溫和高效

UV-1 采用獨特的紫外光照射 + 臭氧生成 + 臺面加熱的協同作用原理:氧氣經濾塵后生成臭氧,在紫外燈照射下分解為高活性氧自由基,與樣品表面的有機物發生氧化反應,將其分解為二氧化碳和水等揮發性物質,從而實現清洗;加熱臺面可加速清洗速率,同時滿足不同工藝的溫度需求。整個過程在大氣壓下完成,無需真空系統,操作便捷,且不會產生靜電損傷,可保護 GaN、SiC 等敏感化合物半導體基材。

二、產品特色:實驗室友好型設計,安全省心

  1. 寬適配性,多基材兼容:可處理 φ100mm 基板及 4 英寸晶片,覆蓋硅、玻璃、化合物半導體(GaN、GaAs、InP、SiC)、藍寶石、陶瓷等多種基材,滿足不同實驗場景需求。

  2. 緊湊設計,節省空間:設備結構精巧,占用實驗室空間小,適合各類實驗室布局。

  3. 常壓操作,無需真空:在大氣壓下即可運行,無需搭配復雜的真空系統,降低使用門檻和維護成本。

  4. 溫和工藝,無損傷處理:全程無靜電、無機械損傷,不會破壞樣品結構,尤其適合敏感電子材料。

  5. 多重安全防護:配備上蓋連鎖機制(上蓋開啟時系統無法操作)、自動 N? purge 循環、加熱臺面保險絲保護、臭氧分解裝置、緊急停止按鈕等多重安全設計,保障操作人員安全,同時將排氣臭氧濃度降至安全標準。

  6. 臭氧無害化處理:內置臭氧分解裝置,避免臭氧排放污染,符合實驗室環保要求。

三、應用場景:覆蓋多領域實驗室需求

  • 塑封封裝及引線框架表面清洗

  • 化合物半導體(GaN、GaAs、InP、SiC)表面清洗

  • 表面改質(親水性及增進附著力)

  • 表面氧化(氧化薄層的形成)

  • 光阻的灰化、去除、殘留清洗

  • 去除有機污染物

  • UV 硬化

SAMCO 作為日本的半導體工藝設備品牌,擁有多年的設備研發經驗,產品以穩定的性能、精巧的設計,廣泛應用于各類科研實驗室、半導體研發機構。UV-1 紫外臭氧清洗機,從清洗效率到操作安全性,都做到了行業較高水平,是實驗室表面處理、樣品前處理的高效利器。
如果你正在找一款溫和高效、適配多基材、安全省心的表面清洗設備,不妨試試 SAMCO UV-1 紫外臭氧清洗機,讓樣品前處理更高效、更精準!
聯系人:譚女士
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