產品資料
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵
產品名稱: 日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵
產品型號: FS-N 系列
產品特點: 日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵FS-N 系列高速沖程 （FS-80Ngao達200 spm），讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵 的詳細介紹
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵FS-N 系列
高速沖程
高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。
無污染設計
過流端采用氟樹脂無污染構造，使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。
高流量及高吐出壓力
大吐出量高達0.7MPa，不僅滿足化學供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅動系統
內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
日本易威奇iwaki適用于各類供藥系統氣泵FS-N 系列
規格
大吐出量 | 100 L/min | ||||||||||||
大吐出壓力 | 0.7 MPa | ||||||||||||
大耗氣量 | 1495 NL/min | ||||||||||||
大沖程率 | 100 spm | ||||||||||||
主要材質 | PTFE, PFA | ||||||||||||
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 60 °C 高速沖程 高速沖程 (FS-80Ngao達200 spm)，讓結構緊湊、重量輕、成本低，可同時用于高流量及高壓力工況。 無污染設計 過流端采用氟樹脂無污染構造，使用*的軸封顯著降低顆粒的產生。
高流量及高吐出壓力 傳感器驅動系統 內置式開關通過傳感器驅動系統打開/關閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規格
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