超高真空環(huán)境用零油污染無振動(dòng)真空泵

超高真空環(huán)境用零油污染無振動(dòng)真空泵

磁懸浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接觸式螺桿/爪式壓縮技術(shù)，摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體；
• 無振動(dòng)運(yùn)行：磁懸浮軸承消除機(jī)械接觸與磨損，振動(dòng)極低，適合對(duì)穩(wěn)定性要的實(shí)驗(yàn)或測試環(huán)境；
• 超長壽命：連續(xù)運(yùn)行壽命超10萬小時(shí)，大幅降低維護(hù)頻率；
• 適用場景：半導(dǎo)體制造、航天熱真空試驗(yàn)、質(zhì)譜分析等對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性要求的超高真空系統(tǒng)。

該類泵支持從10?? mbar 到大氣壓的寬范圍運(yùn)行，適配多種超高級(jí)需求。

2. 無油渦旋真空泵（復(fù)合分子泵系統(tǒng)）

• 設(shè)計(jì)：采用非接觸式渦旋嚙合結(jié)構(gòu)，無需潤滑油，避免油氣返流；
• 低振動(dòng)、低噪音：結(jié)構(gòu)精密，運(yùn)行平穩(wěn)，適合實(shí)驗(yàn)室、潔凈室等安靜環(huán)境；
• 高真空能力：與渦輪分子泵組合使用，可實(shí)現(xiàn)10?? Pa 級(jí)別的超高真空；
• 適用場景：質(zhì)譜儀、精密光學(xué)鍍膜、生物醫(yī)藥凍干等高潔凈度要求的超高真空系統(tǒng)。

特別適合對(duì)分子級(jí)潔凈有要求的應(yīng)用，如半導(dǎo)體光刻、等離子體處理等。

磁懸浮干式真空泵（如 Edwards 系列）

• 零油污染：采用非接觸式螺桿/爪式壓縮技術(shù)，摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體；
• 無振動(dòng)運(yùn)行：磁懸浮軸承消除機(jī)械接觸與磨損，振動(dòng)極低，適合對(duì)穩(wěn)定性要求的實(shí)驗(yàn)或測試環(huán)境；
• 超長壽命：連續(xù)運(yùn)行壽命超10萬小時(shí)，大幅降低維護(hù)頻率；
• 適用場景：半導(dǎo)體制造、航天熱真空試驗(yàn)、質(zhì)譜分析等對(duì)潔凈度和穩(wěn)定性要求的超高真空系統(tǒng)。

該類泵支持從10?? mbar 到大氣壓的寬范圍運(yùn)行，適配多種超高真級(jí)需求

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2. 無油渦旋真空泵（復(fù)合分子泵系統(tǒng)）

• 設(shè)計(jì)：采用非接觸式渦旋嚙合結(jié)構(gòu)，無需潤滑油，避免油氣返流；
• 低振動(dòng)、低噪音：結(jié)構(gòu)精密，運(yùn)行平穩(wěn)，適合實(shí)驗(yàn)室、潔凈室等安靜環(huán)境；
• 高真空能力：與渦輪分子泵組合使用，可實(shí)現(xiàn)10?? Pa 級(jí)別的超高真空；
• 適用場景：質(zhì)譜儀、精密光學(xué)鍍膜、生物醫(yī)藥凍干等高潔凈度要求的超高真空系統(tǒng)。

特別適合對(duì)分子級(jí)潔凈有要求的應(yīng)用，如半導(dǎo)體光刻、等離子體處理等。